대한광통신이 극자외선(EUV) 노광 공정용 저열팽창 소재(LTEM) 기반 유리기판 제조 기술에 대한 특허 등록을 완료했다고 22일 밝혔습니다. 이번 특허는 포토마스크 제작에 쓰이는 유리기판을 만드는 공정에 관한 것으로, 대한광통신은 이번 특허 확보와 시제품 개발로 국내에서는 유일하게 EUV 포토마스크용 LTEM 기판을 공급할 수 있는 기술 역량을 갖추게 됐다고 설명했습니다.
등록된 특허는 이산화티타늄과 이산화규소로 이뤄진 미세한 유리 입자를 기상축부착법(VAD)으로 쌓아 올리고 후속 열처리 공정을 거쳐, 불소를 쓰지 않으면서도 기포가 없는 저열팽창 평판 유리를 만드는 기술입니다. 대한광통신 관계자는 “축적된 합성유리 제조 역량을 반도체 소재 제조 기술로 발전시키고, 특허 확보와 시제품 개발로 연결했다는 데 의미가 있다”고 밝혔습니다.
대한광통신은 현재 국내 반도체 블랭크마스크 업체와 양산을 목적으로 한 협업 방안을 논의하고 있다고 전했습니다. 회사는 앞으로 제품의 품질과 성능을 검증하는 절차를 거쳐 실제 적용 가능성을 확인하고, 양산에 필요한 투자와 생산체계 구축 방안을 구체화할 계획이라고 설명했습니다. 다만 협업 대상 업체명과 양산 시점, 특허의 정확한 등록번호는 아직 공개되지 않았습니다.
관련해서 반도체, 용인 국가산단 1공구 10월 착공도 함께 보시면 좋습니다.
한편, 대한광통신은 코스닥에 상장된 광섬유 전문 제조업체로, 광섬유용 합성유리 제조 역량을 바탕으로 반도체 소재 분야로 사업을 넓히고 있습니다.
자주 묻는 질문
대한광통신 EUV 유리기판 기술은 무엇인가요?
반도체 극자외선(EUV) 노광 공정에서 포토마스크 제작에 쓰이는 저열팽창 소재(LTEM) 기반 유리기판을 만드는 기술입니다. 이산화티타늄과 이산화규소로 이뤄진 유리 입자를 기상축부착법으로 쌓아 불소 없이 기포가 없는 저열팽창 유리를 만듭니다.
특허 등록은 언제 이뤄졌나요?
대한광통신은 2026년 10월 22일 특허 등록을 완료했다고 밝혔습니다. 다만 구체적인 등록번호와 등록 일자는 공개되지 않았습니다.
이 기술은 바로 양산에 들어가나요?
아직 양산 단계는 아닙니다. 대한광통신은 국내 블랭크마스크 업체와 양산을 위한 협업을 논의 중이며, 품질과 성능 검증을 거친 뒤 투자와 생산체계를 구체화할 계획이라고 밝혔습니다.
대한광통신은 어떤 회사인가요?
코스닥에 상장된 광섬유 전문 제조업체로, 광섬유용 합성유리 제조 역량을 바탕으로 반도체 소재 분야로 사업을 넓히고 있습니다.
이 포스팅은 쿠팡 파트너스 활동의 일환으로, 이에 따른 일정액의 수수료를 제공받습니다. 구매자에게는 추가 비용이 발생하지 않으며, 상품 가격에도 영향을 주지 않습니다.
출처
- 뉴스타운, “대한광통신, EUV용 유리기판 제조 기술 확보” (2026-10-22)
- 뉴시스, “대한광통신, LTEM 기반 유리기판 제조 기술 특허 등록” (2026-10-22)
- 이데일리 마켓인, “대한광통신, EUV용 유리기판 제조 기술 확보” (2026-10-22)
- 뉴스핌, “대한광통신, EUV용 유리기판 제조 기술 확보” (2026-10-22)
- 뉴스프라임, “대한광통신, EUV용 유리기판 제조 자체 기술 확보” (2026-10-22)